ハナハナ
SOGについて解説します！
今回は、「SOGの意味・役割」について解説していきます。
SOGについて全く知らない方、異分野から半導体製造工程に関わることになった方など、初心者向けの記事になります。
この記事は、こんな人にオススメ！
・半導体のSOGについて知りたい
・SOGについて調べたけどよくわからない
・半導体製造工程に関わっている
SOGの意味・役割とは？
SOGの意味・役割
半導体プロセスにおけるSOGとは「Spin on Glass」の略で、0.1～１μｍ程度のガラス膜をウエハ上に成膜するための溶液です。
半導体プロセスでSOGを使用する主な目的は、ウエハ表面の平坦化です。
上図のように、ウエハ表面の段差部分にSOGを塗布することで、段差による膜の凹凸を平坦化させます。
イメージとしては、完全に平らにするというよりも、段差を軽減して平坦化の悪化を防いでいる感じです。
SOGを塗布した後は、溶剤を飛ばすためのベーク(加熱)が必要になります。
それでは、次項ではSOGの塗布方法について簡単に説明します。
SOG塗布方法
SOGはスピンコート法という方法で塗布されます。
ウエハを回転させながら、ウエハ中央にSOG溶液を塗布することで、SOG溶液が中央から外周部にかけて広がっていきます。
スピンコート法はレジスト塗布や枚葉式の洗浄装置などにも使用されています。
以上、 SOGの意味・役割についての説明でした。
ハナハナが参考にしている半導体関連本
半導体プロセスの基礎からわかりやすく丁寧に 平坦化・洗浄工程
最後まで読んで頂き、ありがとうございました。
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