デポ(deposition)・デポ膜・デポ物の意味とは?【半導体製造工程】

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ハナハナ
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デポについて解説します!

今回は、「デポ・デポ膜・デポ物」について解説していきます。

デポについて全く知らない方、異分野から半導体製造工程に関わることになった方など、初心者向けの記事になります。

この記事は、こんな人にオススメ!

・「デポ・デポ膜・デポ物」の意味を知りたい。

・半導体の製造工程に関わることになった 

・「デポ・デポ膜・デポ物」について調べたけど、イマイチ分からない

デポ・デポ膜・デポ物とは?【半導体製造工程】

半導体製造工程のデポとは?

まずは、デポという言葉の意味について紹介します。

デポとは、デポジション(deposition)の略です。

デポジションには、(物質の)堆積、沈着、沈殿という意味があります。

半導体製造工程では、成膜のことをデポと呼びます。

また、成膜でできた膜をデポ膜と呼ぶこともあります。

次項では、半導体の成膜工程について簡単に説明します。

成膜とは

半導体製造工程には、下の図のようにウェハ表面に膜を付ける「成膜」と呼ばれる工程があります。

主な膜の種類としては、配線の役割を果たす金属膜や、層間を絶縁する絶縁膜などがあります。

成膜工程の種類としては、大きく分けて4つに分類することが出来ます。

①液相法②気相法③シリコン酸化法④塗布法

成膜については、以下の記事でも紹介しています。

半導体の成膜工程(種類と目的)とは?【概要】
ハナハナ半導体の成膜工程について解説します!今回は、「半導体の成膜工程(種類と目的)」について解説していきます。半導体の成膜工程について全く知らない方、異分野から半導体の製造工程に関わることになった方など、初心者向けの...

デポ物とは?

半導体製造の現場では、「デポ物」という言葉を使うことがあります。

「デポ物」の使用例としては、

「エッチングチャンバー内に、デポ物が付着している」

「デポ物がホトマスクに付着した」

というように、デポ(成膜)によって形成した膜が、異物として残っている場合に使用することが多いです。

以上、「デポ・デポ膜・デポ物」についての説明でした。

最後まで読んで頂き、ありがとうございました。

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