『改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術 』

ハナハナ プラズマについて解説します！ 今回は、半導体プロセスの「プラズマ」について解説していきます。 プラズマについて全く知らない方、異分野から半導体製造工程に関わることになった方など、初心者向けの記事になります。 ...