デポ（deposition）・デポ膜・デポ物の意味とは？【半導体製造工程】

ハナハナ

デポについて解説します！

今回は、「デポ・デポ膜・デポ物」について解説していきます。

デポについて全く知らない方、異分野から半導体製造工程に関わることになった方など、初心者向けの記事になります。

この記事は、こんな人にオススメ！

・「デポ・デポ膜・デポ物」の意味を知りたい。

・半導体の製造工程に関わることになった

・「デポ・デポ膜・デポ物」について調べたけど、イマイチ分からない

デポ・デポ膜・デポ物とは？【半導体製造工程】

まずは、デポという言葉の意味について紹介します。

デポとは、デポジション（deposition）の略です。

デポジションには、（物質の）堆積、沈着、沈殿という意味があります。

半導体製造工程では、成膜のことをデポと呼びます。

また、成膜でできた膜をデポ膜と呼ぶこともあります。

次項では、半導体の成膜工程について簡単に説明します。

半導体製造工程には、下の図のようにウェハ表面に膜を付ける「成膜」と呼ばれる工程があります。

主な膜の種類としては、配線の役割を果たす金属膜や、層間を絶縁する絶縁膜などがあります。

成膜工程の種類としては、大きく分けて4つに分類することが出来ます。

①液相法②気相法③シリコン酸化法④塗布法

成膜については、以下の記事でも紹介しています。

半導体製造の現場では、「デポ物」という言葉を使うことがあります。

「デポ物」の使用例としては、

「エッチングチャンバー内に、デポ物が付着している」

「デポ物がホトマスクに付着した」

というように、デポ（成膜）によって形成した膜が、異物として残っている場合に使用することが多いです。

以上、「デポ・デポ膜・デポ物」についての説明でした。

最後まで読んで頂き、ありがとうございました。

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