レジストについて解説します！
今回は、「レジストの意味・用途とは？」について解説していきます。
半導体のレジストについて全く知らない方、異分野から半導体製造工程に関わることになった方など、初心者向けの記事になります。
・レジストの意味を知りたい。
・半導体の製造工程に関わることになった
・レジストについて調べたけど、イマイチ分からない
レジストの意味・用途とは？
レジスト＝保護膜
半導体プロセスで使用するレジストは、主に基板を加工する時の保護膜として使用されています。
半導体プロセスで基板を加工する時の考え方として、まずはウェハ全体に膜を付けて、不要な部分の膜を削ってパターンを形成します。
パターンの削りたくない部分にレジストを塗布することで、レジストがある部分だけが削られないで残るので、パターンを形成することが出来るのです。
言葉だけで理解するのは難しいと思いますので、次項ではレジストを用いて金属の配線パターンを形成する方法を簡単に説明します。
レジストの用途（例:金属配線の形成）
上記のように、シリコンウェハ上に金属配線を形成する簡単な基板を完成形として、その過程を説明していきます。
①まずは、シリコンウェハの全面に金属の膜を形成します。
②続いて、上図のように金属膜を残したい箇所の上だけに、レジストパターンを形成します。
③レジストパターンが形成できた後に、膜を削ることによって、レジストが無い部分の金属膜のみが削られます。
そうすることで、シリコンウェハ上に金属とレジストから成るパターンが出来上がります。
④最後に、レジストを除去することで、シリコンウェハ上に、金属の配線パターンが形成されます。
ちなみに、膜の上にレジストパターンを形成する工程はフォトリソグラフィ、膜を削る工程はエッチングと呼ばれており、以下の記事で解説しています。
以上、レジストの意味・用途とは？についての説明でした。
ハナハナが参考にしている半導体関連本
最後まで読んで頂き、ありがとうございました。
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